技术编号:10049559
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能电池的局部构件领域,涉及一种支撑特气管道的装置,具体为一种u型槽。背景技术目前,太阳能电池是人类利用太阳能的有效方法之一。备晶体硅太阳能电池的一般流程为表面清洗及织构化、扩散、等离子体去边、清洗去磷硅玻璃、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中镀膜一般都用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法沉积氮化硅膜作为减反射层。这层减反射层不仅可以减少硅片表面光的反射,即增加电池片的光吸收,而且可以很好的起到表面体钝化的作用。因此,其镀...
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