技术编号：10054198
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前商用干涉仪使用的光源多数是单横模激光，它具有很强的空间相干性和时间相干性，所以在干涉成像系统里，光学元件表面的反射或散射都很容易产生杂散条纹，尤其是平行光学元件(如CCD前面的保护玻璃盖、偏振分光棱镜、被测平形平板等)表面反射会引起多表面干涉，将严重影响波前测量结果。为了抑制相干噪声，常规的做法就是在成像光路中，设置光阑或挡板，滤除一部份的杂散光；对系统里的平行光学元件镀增透膜以减小反射；在测量平行平板的反射波前时，在平板后表面涂抹凡士林等。但这些方法...
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