单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:10055068

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各向异性磁阻(AMR)传感器是现代产业中新型磁电阻效应传感器,其正变得日益 重要,尤其是在智能手机中的电子罗盘和汽车产业传感器中的停车传感器、角度传感器、 ABS(自动制动系统)传感器以及胎压传感器等方面得到应用。除各向异性磁阻(AMR)传 感器外,磁性传感器目前主要技术还有霍尔效应传感器、巨磁阻(GMR)传感器、隧道磁阻 (TMR)传感器,但由于AMR传感器具有比霍尔效应传感器高得多的灵敏度,且技术实现上比 GMR和TMR传感器更加成熟,因此各向异性磁...
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