技术编号:10065289
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在液晶玻璃的制造工序中,当玻璃基板表面存在微小颗粒时,短线、短路等缺陷的出现频率倍增,为了克服这一缺陷,需要对玻璃基板的表面进行洗净处理。现有的TFT-1XD行业采用洗净玻璃基板的流程包括洗剂清洗、冲洗、漂洗和烘干等环节,各个环节分别由不同的设备来完成。而随着玻璃面板大尺寸化、高开口率、及低线宽等技术发展要求,采用多机台设备来清洗液晶玻璃存在以下的缺陷1、采用数台设备分别清洗液晶玻璃,造成了清洗设备较高的成本投入,且玻璃基板在各种设备间的转换造成工时的浪费...
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