技术编号：10071531
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅生产领域中，还原炉是生产多晶硅的核心设备。在利用还原炉生成多晶硅时，还原炉内的电流回路不可避免的会产生接地泄露电流，但如果接地泄露电流过大容易发生接地故障。所以，还原炉运行时需要精确控制好炉内温度，因为如果炉内温度过低，底座上会生长出无定型硅，使得硅棒跟还原炉的底盘连接，导致接地泄漏电流超过安全范围，发生接地故障；如果炉内温度过高，硅棒容易发生融溶，同样容易引起接地泄漏电流过大，进而发生接地故障。此外，炉内气流波动太大或者电流波动大都容易引起接地泄漏...
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