技术编号：10071784
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅生产过程中产生的废气主要成分为氯硅烷、氯化氢、氢气和氮气等，含氯硅烷废气的常用处理方法有水洗法、钙洗法和钠洗法，分别用水、石灰乳、氢氧化钠溶液为介质与含氯硅烷废气进行反应以去除废气中的氯硅烷。当采用石灰乳溶液水解中和处理废气中的氯硅烷和氯化氢时，淋洗产生废水的主要成分有氯化钙、硅酸钙、二氧化硅和未反应的石灰。该废水目前多采用中和过滤的工艺进行处理。由于废水中的硅酸钙、二氧化硅是气体和液体反应的产物，粒径很小，常用的压滤机不能有效去除，导致出水中的悬浮...
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