技术编号：10081410
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。坡莫合金薄膜材料由于其具有各向异性磁阻效应而被广泛应用于移动通讯、家用电器、导航系统、磁性传感器、以及航空航天的多个领域，同时由于这种材料的磁电阻与电流和内部磁化方向有关，使得这种材料能够被应用于诸多方面；这种材料一般采用垂直溅射的方式沉积薄膜，且在沉积过程中都会在两边加上一个均匀的诱导磁场(附图1)，在400°C左右的基底温度下沉积薄膜，从而诱导出一个跟诱导磁场方向相同的易磁化轴方向，当外磁场方向跟易磁化轴方向一致的时候，薄膜电阻的变化率达到最大值，而当...
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