技术编号:10084625
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。如图3所示的两段蚀刻装置,蚀刻装置包括第一段、第二段、蚀刻液补充装置3。第一段包括第一集液槽10、第一蚀刻槽14,第一集液槽10内设有第一栗11,第一蚀刻槽14设有用于喷淋蚀刻液的第一喷淋装置13,第一栗11与第一蚀刻槽14由第一出液管12’连接,第一集液槽10与第一蚀刻槽14由第一回流管15连通。第二段包括第二集液槽20、第二蚀刻槽24,第二集液槽20内设有第二栗21,第二蚀刻槽24设有用于喷淋蚀刻液的第二喷淋装置23,第二栗21与第二蚀刻槽24由第二出...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。