一种含防水层的光栅复制装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10093719

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衍射光栅是一种由密集、等间距平行刻线构成的非常重要的光学器件,它利用多缝衍射和干涉作用,将射到光栅上的光束按波长的不同进行色散,再经成像镜聚焦而形成光谱。衍射光栅性能稳定,分辨率高,角色散高而且随波长的变化小,所以在各种光谱仪器中得到广泛应用。当前使用的衍射光栅有平面的和凹面的,其表面受到十分精细、均匀的调制。调制频率的变化范围很大,对槽宽的均匀性要求非常高,刻划条件要求很严。即使是很好的刻划机,要刻划一块100 X 100mm的光栅(刻划机的刻划速度为1...
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