技术编号:10101602
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。改良西门子法三氯氢硅氢还原生产多晶硅过程,反应转化率在10%左右,未反应的氢气、三氯氢硅和反应副产物四氯化硅、氯化氢、二氯二氢硅共同组成还原尾气,进入干法回收系统分离、回收。传统的干法回收系统由“冷凝分离氯硅烷-吸收脱吸分离氯化氢-吸附净化回收氢”三大部分组成。具体工艺为还原尾气先经加压冷凝以回收液态氯硅烷,再通过低温氯硅烷吸收-高温脱吸的方式分离回收不凝气中绝大部分的氯化氢,之后经活性炭吸附其中极少量的氯硅烷、氯化氢及其它杂质,吸附后的绝大部分回收氢返回...
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