技术编号：10103391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。FFU (Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器，为洁净室提供洁净空气。采用这种机组，可以为洁净室输送高质量的空气，而且空气流通好。它适合用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其他对空...
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