技术编号:10114251
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,多晶硅的生产方法主要采用西门子法,其主要是在还原炉中使硅芯发生还原反应生成多晶硅。原理是硅芯还原反应是在一个密闭的还原炉中进行,在装炉前先在还原炉内用硅芯搭接成若干个闭合回路,每个闭合回路都由两根竖硅芯和一根横硅芯组成。每一个闭合回路的两个竖硅芯分别接在炉底上的两个电极上,电极分别接直流电源的正负极,然后对硅芯进行加热,加热中一组搭接好的硅芯相当于一个大电阻,向密闭的还原炉内通入氢气和三氯氢硅,进行还原反应。由此,所需的多晶硅就会在硅芯表面生成。该方...
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