技术编号：10119094
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，现行花篮的侧壁栅板和底角栅板是扁平的板状结构，栅板与硅片边缘直接接触，有较大的接触面积。在日常生产过程中，时常会出现花篮清洗不洁净，不彻底而污染硅片；硅片叠片导致的花篮受药液污染进而污染后续硅片等现象。发明内容为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供一种硅片盛放花篮，其通过在硅片盛放空腔的侧壁上加设顶尖，从而减少硅片与花篮的接触面面积，从而减少硅片的污染，增加生产质量；本实用新型结构简单，制作方便，具有普遍推广前景。为实现上述目的，本实用新型采用以下...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。