用于改善电池片表面层导电类型的扩散石英舟结构的制作方法技术资料下载

技术编号:10128942

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我们制作太阳能电池的硅片是P型的半导体材料。如果我们把这种P型硅片放在一个石英容器内,同时将含磷的气体通入这个石英容器内,加热到一定的温度,这时N型杂质磷可从化合物中分解出来,在容器内充满着含磷的蒸汽,在娃片周围包围着许许多多的磷的分子。根据扩散的基本原理,磷杂质会向硅片内部渗透扩散。在靠近硅片表面的薄层内扩散进去的磷原子最多,距表面愈远,磷原子愈少。也就是说,杂质浓度(磷浓度)随着距硅表面距离的增加而减少。这样我们就可以利用杂质原子向半导体晶片内部扩散的...
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