技术编号:10146536
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。因此,单晶炉需保持通畅,现有技术是通过纯人工将管道分段拆卸后清理。现有的技术在清理完成后的安装过程中极易造成波纹管、密封圈等安装不到位,进而产生真空系统故障,增加了设备的检修时间。实用新型内容本实用新型的目的是开发一种单晶炉用异形管道清理装置,包括连接头、...
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