技术编号:10147886
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。磁控溅射镀膜仪上通常设置有水冷装置,而水冷孔零件设置在水冷装置中,与水冷管道相连接。磁控溅射镀膜仪在经过长时间使用后,会出现水冷装置部分腐蚀的现象。对此,工作人员必须定期更换相关零部件,来防止出现因腐蚀造成的漏水现象。在更换过程中,需要拆卸水冷孔零件,由于目前没有用于拆卸水冷孔零件的专用工具,且水冷孔零件安装比较紧,只能使用钳子夹持拔出水冷孔零件。图la和图lb是现有水冷孔零件的俯视图和正视图。水冷孔零件10为中空的管道,在所述水冷孔零件10的外表面的中间...
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