技术编号:10152159
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在晶体生长,热场分布、均匀性等指标决定着晶体生长的质量。而热场主要由晶体加热器和保温层组成。目前晶体加热器一般分为以下几种鸟笼式一由钨棒组成鸟笼形状;瓦片式一由钨丝网或钨片组成的加热器;笼装加热器一有钨片或者石墨制成;绕线式感应加热利用感应磁场产生感应电流加热。针对笼装加热器,其加热一般是从侧面加热,这样就非常有可能在顶部的中心形成一个冷点,对于从底部生长的晶体会产生过高的生长界面,降低晶体的品质。虽然能够通过增加上加热器解决这个问题,但这样会极大的增加成...
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