技术编号：10156421
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电荷传感器在科学研究、工业生产以及日常生活中发挥着巨大的作用，比如在生物医学领域中电荷传感器常常用于检验生化反应发生的速率，而在航空航天领域中则常常被用来检测射线强度，甚至在我们每天使用的手机中也有用到电荷传感器来获取电池的电量信息等等。在众多类型的电荷传感器中MEMS谐振式电荷传感器以其体积小、精度高、CMOS兼容性强等等优点占据了市场中非常重要的一部分。目前谐振式传感器的研究热点主要集中在如何提高器件的检测精度和扩大器件的检测范围这两块领域。对于前者根...
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