技术编号:10157049
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。湿度测量与控制紧密相关于社会生活、工农业生产等。某些领域,如呼吸系统疾病诊治、燃料电池汽车等,不但需要湿敏元件具有准确、可靠等静态特性,还要求湿敏元件能够快速响应测量环境湿度的瞬态变化。现有湿敏元件的静态特性相对较好,但其市场化产品的动态特性不尽人意(通常几十秒)。目前广泛使用的栅状上电极平行板电容式湿敏元件多基于Si基片和聚酰亚胺感湿膜(PI),聚酰亚胺(PI)高分子感湿膜是多孔介质,能够吸附气体,且介电常数较小,而水气分子的介电常数较大,当感湿膜吸附湿...
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