技术编号:10161288
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体薄膜制备设备中,负载模块需要用真空栗频繁抽气至预定压力,现有的传片模块与真空栗单独连通,真空栗只针对传片模块使用,导致传片模块所配备的真空栗利用率较低,为合理利用设备资源,需要一种新型快速抽气结构,可减少抽气时间,提高设备产能。发明内容本实用新型以解决上述问题为目的,提供了一种新型负载腔体快速抽气结构,该抽气结构可将控制传片模块的真空栗与控制上负载模块及下负载模块的真空栗联合利用,可减少抽气时间,提高设备产能。为实现上述目的,本实用新型采用下述技术方...
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