技术编号:10161292
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种火焰水解蒸镀装置,更详细地说,涉及一种能够防止蒸镀物飞散、提高蒸镀效率的火焰水解蒸镀装置。背景技术一般地说,光通信系统中使用光耦合器、光开关,WDM/FDM等各种光部件,为了制作这种光部件,需形成优质的光波导膜。用于光通信的光波导及平面型光波导元件为使用在如下情况的、在光通信系统中起到重要作用的元件将从半导体激光发出的光线有效地结合到光纤维而最小化光损失,或者使得具有不同波长的光信号多路复用(multiplexing)而传送到一个光纤维,...
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