技术编号:10164663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。激光技术是20世纪与原子能、半导体及计算机齐名的四项重大发明之一。四十多年来,随着小型电子产品和微电子元器件需求量的日益增长,对于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔点材料)的精密处理已日渐成为激光在工业应用中发展最快的领域之一。激光加工是激光产业的重要应用,与常规的机械加工相比,激光加工更精密、更准确、更迅速。飞秒激光光刻技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的。近十年人们对激...
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