技术编号：10177741
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有技术的气体流量控制器需要在罗茨栗上安装变频器来控制气体流量，还需要连接一电控箱，不仅控制精度不够高，且制造成本高，设备结构复杂，亟待技术改进。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，以解决所述技术问题。为解决所述技术问题，本实用新型的实施例提供一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，包括设备腔体、与所述设备腔体相连的流量控制装置、与所述流量控制装置相连的罗茨栗，以及与所述罗茨栗相连的真空栗，所述罗茨栗还连接PID...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。