技术编号:10177743
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。光伏电池(太阳能电池)在制造过程中需要经过扩散工序形成PN结,硼扩散炉是扩散工序所用到的主要生产设备,在硼扩散过程中所用到的扩散源液为三溴化硼,在硼扩散过程中三溴化硼会和石英起化学反应,生成硼硅玻璃,进而造成石英器件的腐蚀,从而缩短了扩散炉中石英器件的使用寿命。扩散炉的炉门为石英材质,其作用是在扩散工序中封闭扩散炉炉管的一端,以便实现炉管的密封。在扩散过程中炉门的面部会和反应的硼源接触,久而久之就造成了炉门面上被腐蚀处许多小坑,这些小坑会造成扩散炉的炉门封...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。