技术编号:10180703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。改良西门子法多晶硅生产中氢化炉的尾气一般在800°C以上,尾气的主要成分为SiHC13、SiC14、H2、HC1等气体的混合物,为了实现改良西门子法的闭环生产,就必须对上述尾气进行回收分离。为了实现这一目的,首先就是要将上述高温尾气进行初步的冷却,将温度约在800°C的高温尾气冷却至140°C?200°C的低温混合气,以满足后续处理的工艺要求。现有的多晶硅生产氢化炉尾气冷却装置包括U形管换热器、U形外壳,U形管换热器设置在U形外壳内,1]形外壳与U形管换热...
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