技术编号：10180704
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。改良西门子法多晶硅生产中还原炉的尾气一般在800°C以上，尾气的主要成分为SiHC13、SiC14、H2、HC1等气体的混合物，为了实现改良西门子法的闭环生产，就必须对上述尾气进行回收分离。为了实现这一目的，首先就是要将上述高温尾气进行初步的冷却，将温度约在800°C的高温尾气冷却至140°C?200°C的低温混合气，以满足后续处理的工艺要求。现有的多晶硅生产还原炉尾气冷却装置包括U形管换热器、U形外壳，U形管换热器设置在U形外壳内，1]形外壳与U形管换热...
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