技术编号:10182593
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体行业中有很多刻蚀机使用13.56MHz射频电源来供电,由于部分半导体刻蚀机在使用过程中同时采用13.56MHz和2MHz电源进行供电,导致2MHz频率的谐波通过腔体内的等离子体串扰进13.56MHz电源。为了滤除13.56MHz射频的高次谐波,同时抑制2MHz射频的干扰,需设计一种带通滤波器。实用新型内容为解决上述问题本实用新型提供了一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器。本实用新型体积小、功率大、选频性能优异、带外抑制强、插入损耗和回波损耗小、可用于专用...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。