技术编号:10200879
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一磨盘装置,尤其涉及一种实现端面超声辅助研磨和抛光的磨头。背景技术近年来,对功能陶瓷、石英晶片、平面或多面体晶体和光学器件等硬脆材料的精密加工提出了很高要求,不仅要求这些材料有极小的平面度、极小的表面粗糙度、超平滑的表面,还要求材料两端面严格平行、无晶向误差、表面无变质层等,有的甚至要求达到纳米级或更高的加工精度和无损伤的表面加工质量。研磨是一种精整和光整加工方法。它是利用附着和压嵌在研具表面上的游离磨料磨粒,借助于研具与工件在一定压力下的相...
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