技术编号：10225751
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有的金属溅镀机中一般都用会用波纹管，图1所示为现有技术中金属溅镀机的结构示意图，如图1所示，金属溅镀机包括波纹管101与包裹主驱动杆102，波纹管101在金属溅镀机中起到密封的作用，并在主驱动杆102的驱动下在金属溅镀机的上基板103与下基板104来回伸缩，以实现传动的目的。波纹管101长期伸缩后容易开裂，波纹管101—旦开裂，易导致腔室外漏，金属溅镀机无法正常工作，从而导致金属溅镀机需要频繁更换波纹管，造成大量的人力物力资源浪费，最终导致成本提高。实用...
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