技术编号:10241250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体工业是一个十分依赖水资源的行业,也是高耗水的行业,尤其在水资源有限的情形下,限水、缺水对半导体生产企业的营运产生巨大压力。因此,对半导体生产企业节约用水的研究与实践,有助于提升用水效益,降低用水成本。目前,节约用水、中水回用、废水的回收利用已成为半导体业者应对缺水危机的重要措施,特别是废水的回收利用,既能减少对水资源的需求,又能降低生产成本,同时也减少对环境的污染。在半导体扩散片生产过程中,往往需要对硅片进行2?3次的清洗,清洗目前主要采用湿法化学清...
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