一种无损检测真空管真空度的装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10248188

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目前真空管真空度的检测多采用高压法进行检测,如公布号为CN104409275A的发明公开了一种基于耦合电容法、具有温度及电压补偿、准确度高的真空灭弧室真空度在线监测装置,有置于屏蔽盒I中的耦合电容传感器,所述屏蔽盒I内还设有温度传感器,所述耦合电容传感器依次通过信号调理模块A、移相模块A、差分放大模块与单片机相接,单片机的输出通过自动调零模块反馈至差分放大模块,单片机的输出与显示器相接;设有电压传感器,所述电压传感器依次通过信号调理模块B、移相模块B与差分...
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