技术编号：10276969
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅目前主要采用“改良西门子”法生产，在还原炉的三氯氢硅还原过程中，三氯氢硅会发生副反应生成四氯化硅，在生产中采用精馏塔对三氯氢硅和四氯化硅进行分离回收，分离出的四氯化硅经过精制后送往氢化工艺生成三氯氢硅，在四氯化硅精制过程中需要外排一定量的四氯化硅残液。在三氯氢硅合成工序中，产生的含有高沸点、高粘度、高浓度金属氯化物会溶解在四氯化硅中，该物料在精馏工序中的合成料粗馏一级塔进行分离排放，排放的工业级四氯化硅中其中金属杂质含量分别高达30万ppb，另外还含...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。