技术编号：10277491
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，真空蒸镀系统所使用的蒸镀材料的载体环形坩祸，其环形主体是一个空心的圆环体，圆环体内部开一道通冷却水的环槽，环槽内外圈靠两条氟橡胶密封圈和底板通过螺栓连接，形成由两条密封圈间水冷却循环结构。由于环形主体是一个空心圆，冷却水槽的冷却量有限，导致膜料在电子束轰击熔化时不能够迅速冷却，从而容易出现空穴现象，最终导致在产品镀制过程中出现蒸镀速率不稳定情况而影响产品的性能。实用新型内容为了克服普通环形坩祸在真空蒸镀熔料过程出现空穴情况，本实用新型提供了一种用于真...
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