技术编号：10282299
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光刻加工过程中，往往需要对待加工圆片的位置进行判断，方可进行加工。传统的圆片位置感应均采用光电感应装置，即采用两个成对称分布的光线发生器与接收器，通过光在圆片表面的反射对圆片的位置进行感应。然而，由于圆片，尤其是待加工的圆片表面粗糙，其使得反射角度存在不确定性，从而使得感应精度难以得到保证，进而导致加工过程中时常出现碎片现象。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种适用于圆片光刻工艺的感应装置，其可使得感应精度得以改善。为解决上述技术问题，本发明涉及一种适...
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