一种基于反挖槽工艺的双台阶整流芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:10283873

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台面型二极管是二极管的一种,因为在制作过程中,只保留PN结及其必要的部分,腐蚀掉不必要的部分,其剩余的部分便呈现出台面形,因而得名。台面型二级管主要用于整流,目前以来,国内整流芯片的生产多采用“玻璃钝化保护”工艺,所生产的产品具有不含有害有毒物质,生产中无重金属污染,产品电热性能优良,制造成本低、易于批量化生产等优点。整流芯片由于其结构与工艺的特殊性,有其结构上的优点与不足,目前的整流芯片中是以N型衬底位于P型扩散层的下方,从P型扩散层上用化学腐蚀法向单晶...
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