技术编号：10285211
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。射频功率源又称射频电源，是可以产生固定频率(13.56MHz，27.12MHz等频点)的正弦波、具有一定功率的电源。已广泛应用于半导体工艺设备;LED与太阳能光伏产业;科学实验中的等离子体发生器;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。目前，已有的射频功率源，其射频放大器采用功率模块和大功率场效应管放大器，体积大、功率低。实用新型内容本实用新型主要的目的是针对现有技术的缺陷，提出了一种RF射频功率源，采用单片机技术，实现了多项智能控制，提高了效率，...
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