柔性化电容式微加工超声换能器的制造方法技术资料下载

技术编号:10288547

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超声换能器及阵列探头是超声探测与超声成像技术中的关键部件,广泛应用于医学诊断与治疗、水下通信与探测、缺陷无损检测、测距定位、遥感与遥控等,对提高人口素质、保障身心健康、提升产品质量、探测海底资源、维护国家安全等方面都具有重要意义。传统压电陶瓷(PZT)超声换能器具有机电转换效率高、易与电路匹配、性能稳定、易加工和成本低等优点,是目前应用较为广泛的一种声电转换元件。但是由于压电陶瓷材料存在声阻抗高,不易与人体软组织及水的声阻抗匹配;机械品质因数高,带宽窄;脆...
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