石英挠性加速度计电容传感器绝缘子引线及安装结构的制作方法技术资料下载

技术编号:10298683

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石英挠性加速度计是一种力平衡摆式加速度计,具有稳定性好、精度高、结构简单、易小型化等特点,是目前在航空、航天、航海及各种战略/战术武器的导航、制导与控制系统中应用得最广泛的一类加速度计。石英挠性加速度计主要由质量摆、电容信号传感器、电磁力矩器以及伺服电路等构成。其中,电容信号传感器(简称电容传感器)的动极板由石英摆片表面通过真空镀膜沉积的金膜构成,静极板由上下轭铁研磨面构成。通过绝缘子引线,将电容信号引出到表芯外部,以便与伺服电路进行电气连接。对于电容传感...
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