技术编号:10298775
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅湿法腐蚀反应中实际上是离子反应,但是离子的运动是随机且不确定的,若不精确地控制溶液中反应离子的运动,就很难达到控制形貌的精确形成。离子泡就能解决上述问题,当利用超声产生微气泡时,在通过相关手段改变微气泡带电特性,吸附反应离子。微气泡从宏观上可以看作微粒,利用超声驻波的原理控制微气泡在溶液中的位置,当微气泡破裂时,所携带的有效离子便释放出来,以此加强局部反应,使反应部分形成腐蚀坑。而现有文献并未记载上述技术,基于此,本实用新型提出了一种超声微气泡带电性测量...
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