技术编号：10300208
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体，在进行镀膜时，将插有未镀膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空镀膜设备腔体内且利用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。而在硅片镀膜生产中，需要使用穿过石墨舟的销钉将硅片固定在石墨舟中。但是销钉和石墨舟的销钉孔一般采用过盈配合，难以装配和拆卸。目前还没有一种能够快速将石墨舟片销钉压合及拆卸的装置。实用新型内容本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种石墨舟片销钉快...
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