技术编号:10312167
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提拉法和泡生法是最重要的晶体生长方法,在这些自上而下生长晶体的方法中,水冷籽晶杆起到固定和冷却籽晶夹头和籽晶,通过冷却水的冷却作用保持籽晶杆工作温度处于安全工作温度范围内的同时为晶体生长提供驱动力,其稳定性和冷却效果对晶体生长质量有重大影响。现行常规的籽晶杆的结构示意图见图1,水冷籽晶杆由内外管组合而成,冷却水从内管进水口流到外管底部,之后上行到外管出水口排出。由于籽晶杆一般很细长,长度和直径比在40以上,且籽晶杆下端呈自由状态没有固定,在水压发生变化、冷...
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