一种基于探针的检测头结构的制作方法技术资料下载

技术编号:10317696

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探针是电测试的接触媒介,探针通常包括探针壳、探针头,探针头与探针壳之间弹性连接,探针头可在探针套内伸缩。探针通常用来测试一些微型电子元器件的参数,例如测量电子元器件上两个焊点之间的电阻、电流、电压等。晶元是生产集成电路所用的载体,通常通过探针对进行检测,由于一个晶元片上存在上百个晶元,单探针检测头检测效率低,无法满足生产检测需求,需要多组探针同时检测,然而目前没有专门用于多组探针固定的夹具,即使有多组探针的检测头,检测头本身尺寸较大,无法检测晶元片上排列紧...
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