技术编号：10317698
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元，晶元经过封装之后制成芯片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元在封装制造成芯片之前需要对每个晶元的性能进行检测，由于一个晶元片上存在上百个晶元，人工检测效率低;对于自动化检测而言，由于晶元排列密集，探针定位困难。实用新型内容本实用新型为了解决现有技术中的晶元自动检测设备...
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