一种太阳能电池减反射膜沉积用石墨舟的冷却房的制作方法技术资料下载

技术编号:10319560

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随着石油、天然气等不可再生能源的日益短缺,太阳能、风能、潮汐能等可再生能源的开发、利用越来越受到国内外研究者的关注。其中,太阳能光伏发电以其无枯竭危险、无污染、不受资源分布地域的限制、可在用电处就近发电、能源质量高、使用者从感情上容易接受、获取能源花费的时间短和供电系统工作可靠等优点赢得了较好的市场前景,我国太阳能光伏电池生产也进入了高速发展的时代。在光伏电池硅片生产过程中通常需要使用石墨舟对经过制绒及扩散等工艺处理后的太阳能电池表面进行氮化硅减反膜沉积处...
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