技术编号：10330058
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近些年来，随着有机电子学的迅速发展，有机场效应晶体管(OFETs)以低成本、可选择材料多、功能范围广等优势，以及在电路应用、传感应用等方面广泛的前景，吸引着人们的目光，由于有机电子器件种类的扩展，将现有的有机器件技术和传统的无机器件技术结合是未来的一个重要发展方向；由于有机材料可选择种类多，而不同材料对环境敏感程度不同，所有我们可以将其结合在无机器件中制备出各种类的传感器件;MEMS是在无机微电子技术的基础上发展起来的，包括光刻、腐蚀、薄膜等工艺，还包含了...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。