一种沟槽栅igbt的制作方法技术资料下载

技术编号:10336891

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绝缘栅双极型晶体管具有通态压降低、电流容量大、输入阻抗高、响应速度快和控制简单等特点,被广泛应用于工业、信息、新能源、医学、交通等领域。参考图1所示,为现有的一种沟槽栅型IGBT芯片的结构示意图,现有的沟槽栅IGBT芯片的元胞中,包括有两个常规沟槽栅I,两个常规沟槽栅之间包括有相对设置的源极区2和发射极金属电极3,其中,发射极金属电极3延伸至P-基区。现有的沟槽栅型IGBT芯片在进行饱和电流的调节时,一般增加虚沟槽栅以通过调节常规沟槽栅和虚沟槽栅的比例,进...
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