气浮装置及玻璃基板传送装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10345831

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目前,在玻璃基板的生产运输过程中,为了保证玻璃品质,通常在洁净间中通过非接触式气浮传送的方式来传送玻璃基板。气浮传送结构包括气浮装置以及位于气浮装置两侧的滚轮,在传送过程中,玻璃基板的两侧边缘位于两侧的滚轮上,通过滚轮推动其移动,气浮装置位于玻璃基板底部的中间部位,通过气体使得玻璃基板悬浮其上。其中的气浮装置通常包括由多根气浮条组成的气浮条组,传送过程中玻璃基板与气浮条之间的距离通常在0.之间。为了保证玻璃基板品质,气浮条组与玻璃基板之间不能有任何接触,所...
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