技术编号：10346342
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。当前MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，简称MEMS，微机电系统)传感器正在向微型化、高密度化的方向发展，其中MEMS加速度计是所有MEMS传感器中发展较为成功的一个方向，军事上已经实现了战略导弹的应用。工程上MEMS加速度传感器精度已经可以达到10—4g的量级。伴随着光子集成线路的迅速发展，微光机电系统(MOEMS)将MEMS结构与微光器件、半导体激光器、光检测器件等完整地集成在一起。MOEMS显然继承了MEMS成熟的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。