一种超级结器件的制作方法技术资料下载

技术编号:10352847

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传统的硅功率器件,它的击穿电压和导通电阻有如下关系,导通电阻正比于击穿电压的2.5次方,击穿电压增加I倍,导通电阻变为原来的4.7倍,这使得高压使用的场景(如要求击穿电压在600V以上),器件的导通电阻变得无法接受。超级结是一种能够显著减小器件导通电阻的结构,它利用在漂移区中掺入具有互补类型的杂质(如在N型漂移区中掺入P型杂质),可以大大减小导通电阻,实现。通常超级结的结构如下,以N型硅基超级结为例,超级结通常包含以下几个部分栅极,通常是由多晶硅组成,厚度...
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