动态追踪的mems麦克风的制作方法技术资料下载

技术编号:10354590

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极化电压,加在传声振膜和极板之间的直流电压。极化电压的大小会直接影响检测器的灵敏度。对于MEMS麦克风而言,极化电压每提高IV,其MEMS麦克分的灵敏度则提高1db?20db,灵敏度越高,其MEMS麦克风的传声振膜随之声压的振动幅度就越明显,灵敏度较高的MEMS麦克风适用于采集微弱的声音,而对于声压较高的声音,采用此种麦克风则容易出现振膜连接现象,因声音较高,振膜的振动幅度较高,大大缩小了一对振膜之间的相对距离,当振膜之间的相对距离无限小时,就出现了振膜连...
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